К 2030 году в России планируется создание собственных установок для производства микроэлектроники в рамках программы с бюджетом свыше 240 млрд рублей. Эта инициатива включает 119 опытно-конструкторских работ (ОКР), нацеленных на импортозамещение 70% оборудования.
Программа охватывает четыре направления: технологическое оборудование, материалы, химические вещества и системы автоматизированного проектирования. Ожидается, что к концу 2026 года будут освоены ключевые технологии, включая литографию и эпитаксию, что повысит технологический суверенитет страны.